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扫描电子显微镜

Scanning Electron Microscope

 
 
 
 
 

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扫描电镜应用之:TFT-LCD液晶显示器构造  

2010-11-30 10:56:07|  分类: 默认分类 |  标签: |举报 |字号 订阅

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-驰奔 编辑(转载请注明)

液晶显示器的器件构造

  扫描电镜应用之:TFT-LCD生产检测中的应用 - 驰奔 - 电镜代理事业部(DEMA)-博客
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TFT扫描电镜照片
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 CF
  液晶成盒基板是由TFT基板与彩膜(CF)基板贴合在一起,并在中间填充液晶构成的。其中阵列基板和彩膜基板之间要求控制间隔为数微米,而且具有均一的间隔,并由均一的垫料(spacer)来达到这一效果。在阵列基板侧为驱动像素设计了gate线及数据线的引出电极。彩膜基板是由多个重复的RGB(红、绿、蓝)三原色构成的图形,图形形成的位置是与阵列基板上的各像素完全对应的。利用与业已成熟的LCD技术形成一个液晶盒相结合,再经过后工序如偏光片的贴覆等过程,最后形成液晶显示屏。

        TFT基板生产工艺 
  TFT基板的生产工艺流程,玻璃素板经过反复4~5次的成膜-曝光-显影-蚀刻-检查等工序,形成等效于薄膜晶闸管的TFT基板。TFT基板上薄膜分成两种:金属膜和非金属膜。非金属膜由化学气相沉积法(CVD)生成, 金属膜主要由溅射法(Sputter)生成。对应薄膜的生成,蚀刻则是把不需要的薄膜部分去除掉,金属膜蚀刻大多采用湿式蚀刻(wet etching),非金属膜大多采用干式蚀刻(dry etching)。
      液晶显示面板制造中TFT基板的制程工艺,并经过扫描电镜的显示、检查和分析等项目得出相关的结果。通过这些试验及其结果,提出了干式蚀刻中对产品缺陷产生的影响因素,并为提高产品的品质、降低不良率提供了一种技术参考。

摘自: 张新言 李荣玉    扫描电镜的原理及TFT-LCD生产中的应用

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