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扫描电子显微镜

Scanning Electron Microscope

 
 
 
 
 

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扫描电镜根据应用领域的划分-陈仲伟博士  

2010-06-28 21:29:11|  分类: 默认分类 |  标签: |举报 |字号 订阅

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HMI公司总裁 陈仲玮博士:低能电子光学成像及在CD-SEM的应用

HMI公司总裁 陈仲玮博士:低能电子光学成像及在CD-SEM的应用 - COXEM2010扫描电子显微镜 - 扫描电子显微镜的博客

  陈仲伟博士报告中将SEM市场细分为四个部分:Lab SEM、Fab.Wafer Inspection SEM、Fab.Defect Review SEM、Fab.CD SEM,分别分析了其年生产量、市场总额、领先仪器厂商、仪器、技术等情况。critical dimensions ---CD-SEM关键尺寸自动测量扫描电镜

陈仲玮博士简历:
1962-1968,北京清华大学电机系
1978-1981,山东工业大学电子束曝光系统实验室研究生,获硕士学位
1984,应聘英国科学与工程研究委员会外籍科学家,于剑桥大学微电子学研究所从事电子束
曝光系统大扫描场研究
1988,在剑桥大学研制成功世界第一台100千伏能量, 4纳米分辨率,250微米扫描场电子束
曝光系统,获剑桥大学博士学位
1990,任英国剑桥仪器公司首席科学家
1990-1998任KLA仪器公司资深主任工程师,研制电子束检测系统
1998-任HMI公司总经理,从事电子束半导体晶片纳米缺陷检测系统研制与生产
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