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扫描电子显微镜

Scanning Electron Microscope

 
 
 
 
 

日志

 
 

扫描电镜SEM--X射线能谱仪EDS显微分析的精度和灵敏度  

2011-01-24 22:21:19|  分类: 默认分类 |  标签: |举报 |字号 订阅

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编辑作者:- 驰奔 (转载请注明出处)


为了确定样品的化学均匀性,不同分析点成分变化,和某可探测元素的最低浓度。

精度:标准偏差相对计数的百分比,测量结果在一定范围内的变动大小。重复性越高越好。

x射线的产生是统计性的,从某个样品产生的X射线的和,与探测器相互作用,在时间上完全是随机的,但有一个确定的平均值。用样品上某点测定X射线固定时间内的计数量,在相同的时间间隔内,做n次,这个点在重复的计数过程中,单位时间内的计数率和固定时间内的计数成高斯分布。这个曲线的标准偏差为平均计数的平方根。
计数率越高,分析精度相对越高。

精度影响因素:
在扫描电镜中

1、电子元件和样品位置(扫描电镜工作台机械移动,或者电子束漂移)的漂移使工作条件达不到理想状体。
2、扫描电镜高压灯丝电源,透镜电源和其他有关的电子设备都会随时间漂移。
3、当样品在电子束下重新定位,样品偏离WDS的聚焦圆,或者EDS的检出角,都可能导致X射线强度发生变化
样品制备缺陷造成的分析精度低
分析方法

分析灵敏度:对于给定的元素,是区分两个几乎相等的浓度的能力。灵敏度越高越好。
分析灵敏度随着浓度降低而提高。

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