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扫描电子显微镜

Scanning Electron Microscope

 
 
 
 
 

日志

 
 

21世纪的扫描电镜,配上21世纪的X射线能谱能否进行定量分析?  

2011-11-08 23:31:54|  分类: 默认分类 |  标签: |举报 |字号 订阅

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                                                                   驰奔  编辑

21世纪的扫描电镜,配上21世纪的X射线能谱能否进行定量分析?这个本来在20世纪七八十年代就已实现的事,目前居然在多数实验室不能实现,其原因何在呢?其实问题再简单不过,简单地对照一下国家标准GB/T 17359-98“电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则”,然后试问一下以下几个问题:

(1) 试样平了吗?不导电试样镀碳膜了吗?

(2) 电子枪发射的高压电子束束流稳定吗?

(3) 全部使用了实时标准样品测量数据了吗?或重新建了标样数据库了吗?

(4) 试样与标准样品的工作距离相同吗?

(5) 试样与标准样品测量时所采用的电子束电流大小相同吗?

(6) 试样与标准样品的其他工作条件完全相同吗?

如果你的回答是肯定的话,X射线能谱定量分析理应没有任何问题。如果没有做到,并且是属于仪器本身的问题,或应该说是订购仪器时没有注意而产生的问题,因为任何厂家的多数产品都能达到定量分析的要求。否则,剩下的问题应是实验室分析人员如何创造条件,去严格执行GB/T 17359-98“电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则”的问题。一旦完全按照标准规定的去做了,定量分析一定能实现。

摘自:  电子探针和扫描电镜中成分分析的标准化技术研究  

周剑雄(中国地质科学院矿产资源研究所  北京 100037)

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