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JEOL-SEM油扩散泵使用冷却水温度的疑问  

2012-03-22 13:14:51|  分类: 默认分类 |  标签: |举报 |字号 订阅

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仪器信息网网友:chasedreamzcj  问题
http://bbs.instrument.com.cn/shtml/20120322/3939353/
JSM-6390LV型扫描电镜
1、循环水的温度必须在18-22之间才能开主机吗?如果循环水的温度低了(如13度)开主机,有什么危害吗?
2、在开机过程中,出现DP TEMPERATURE LOW,PLEASE WAIT A LITTLE.对电镜有什么危害吗?请高手指教

驰奔回复:


日本电子JEOL 钨灯丝扫描电镜核心技术凑合,和日立的差不多吧,但为了压低成本,用现在的眼光看使用了可以说很差的配置。尤其造价比例很高,也是非常关键的高真空系统,他们采用油扩散泵,真空电磁阀。

扩散泵冷却水温在15~25℃之间即可很好工作。楼主的DP冷水机,应该有温控装置,温度范围可调,只要设定在使用温度区间内就可以。 一般来说,DP对冷水机温控精度要求不高, 设定3-5℃温控范围温没有问题,这种低精度冷水机质量一般较差,噪音会较高,散热也会有一些问题。

1、上面说了既然有温控,就应该起作用。如果温控下限失效,有的制冷机较大,一直冷下去,温度低到一定程度,肯定会自动停机保护。但似乎13℃,还不至于出问题。如果冷水管一直比环境温度低较多,会凝露,积少成多,流下来,可能会对有些部件造成损坏。

2、开机过程中,这个提示是正确的,是扩散泵油加热过程,但PLEASE WAIT A LITTLE,我认为最好等30分钟。等你关机的时候,冷水机需要继续工作30分钟左右,把扩散泵油再降回常温,才可关闭主机。
---
以上仅供参考

下面说点相关题外话。
随着技术进步和经济发展,目前几乎所有客户新购扫描电镜,都不愿意使用油扩散泵配置,大多认准涡轮分子泵真空系统,无需冷水机,无扩散泵油污染,真空清洁,可随时开关机。(如果你去问KYKY中科科仪的高级电镜维修工程师李林涛先生,他恨不得赶紧把所有KYKY系列扫描电镜DP都换掉,这是为什么呢?)

如下图所示,涡轮分子泵扫描电镜用起来非常舒适, 气动阀门真空密封度可靠性更高。

JEOL-SEM油扩散泵使用冷却水温度的疑问 - 驰奔 - -韩国专业【扫描电镜】制造商COXEM-
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