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扫描电子显微镜

Scanning Electron Microscope

 
 
 
 
 

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谈谈扫描电镜聚焦  

2012-10-22 00:01:43|  分类: 默认分类 |  标签: |举报 |字号 订阅

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作者:驰奔
扫描电镜操作,最简单,但最重要的操作就是聚焦-Focus. 正确聚焦是调节其他相关参数的基础。很多情况下,不能正确的聚焦,造成图像不清。
自动聚焦可以解决不能正确聚焦问题,实际上是错误的理解,有时也被某些人用来引导暗示客户,这往往成为忽悠人的一种策略。扫描电镜自动聚焦很多情况下是粗聚焦。总之手动聚焦不清楚,自动一定不会清楚。
下面主要介绍手动聚焦, 当然也是最精细的聚焦。
首先,扫描电镜是齐焦系统,即高倍正确聚焦,降低放大倍数,焦点不会改变。因此使用尽可能可识别的高倍聚焦操作是快速的正确聚焦方法。因为,高倍情况下焦深变小,对聚焦的正确与否,反应更灵敏。
其次,要消除象散。象散的存在,往往会干扰正确聚焦。判断象散,需要较为丰富的图像细节,而象散现象又不被图像干扰,才是好的聚焦点。
如果把象散在拉伸时的位置看做正确聚焦点,再进行象散矫正,图像会更模糊。
再次,高倍高分辨成像,往往受限于信噪比差。反差小的细节,将被噪音覆盖,这时候要找到小反差基本等高的大反差部位作为聚焦点。也可以加大束斑尺寸,使用较高的SPOT值,获得比较良好的信噪比,在低分辨条件下对小反差样品进行聚焦消除象散操作,最后获得正确聚焦,然后再把SPOT值降低,获得高分辨的正确聚焦。改变SPOT值,如果无WD补偿机制,图像将不再正确聚焦

最后,在高倍正确聚焦情况下,将放大倍数降低到想要的放大倍数,自然可以看清同一个高斯焦面上下一定景深的所有的形貌。如下图低倍图像。
需要说明,扫描电镜成像有多重缺陷,其中荷电严重部位,有边缘效应严重部位,不适合作为正确聚焦调节点
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