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扫描电子显微镜

Scanning Electron Microscope

 
 
 
 
 

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扫描电镜观察纳米隐埋层案例  

2013-04-18 14:01:03|  分类: 默认分类 |  标签: |举报 |字号 订阅

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编辑:驰奔

样品由不锈钢基体,一个很薄的钛层和一个厚的铜表面层组成。需要对样品进行元素分析,确定钛层的成分。样品的剖面使用液态镓聚焦离子束切割和精细研磨。如图一,可以看到横截面,显示5微米铜层,大约70nm钛层,不锈钢基体。图二是更高的放大倍数。两张图中铜和不锈钢的晶面和范围明显可见

扫描电镜聚焦离子束研究隐埋层案例 - COXEM北京办公室 - --酷塞目[中国]销售及服务中心--图一
扫描电镜聚焦离子束研究隐埋层案例 - COXEM北京办公室 - --酷塞目[中国]销售及服务中心--图二 

使用热电NS6 X射线能谱仪,线扫描方式如下图,Ti 元素线扫描信号显示在扫描电镜图像上。线扫描结果描绘从铜,钛,铁,氧等元素发射的对应位置信号。

扫描电镜聚焦离子束研究隐埋层案例 - COXEM北京办公室 - --酷塞目[中国]销售及服务中心--
扫描电镜聚焦离子束研究隐埋层案例 - COXEM北京办公室 - --酷塞目[中国]销售及服务中心--图三

在图三中,线扫描的开始点,信号范围是铜,在末端是铁,位于二者之间是Ti峰。因为氧存在于不锈钢中,氧信号随铁信号成比例增加,然而,氧信号也如钛信号一样,在铁信号增加之前,增幅很小,

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