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扫描电子显微镜

Scanning Electron Microscope

 
 
 
 
 

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驰奔扫描电镜、五轴优中心样品台  

2015-03-12 15:45:50|  分类: 默认分类 |  标签: |举报 |字号 订阅

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 作者:驰奔仪器
样品台是扫描电镜重要组成部分,扫描电镜观察视野大多在微米量级,准确搜索和改变观察视野,要求调整自由灵活可靠。传统扫描电镜大都采用五轴样品台:X Y水平位移,样品台中心旋转Rotate轴,样品台倾斜Tilt轴,样品台高度调节Z轴。

X Y R三轴主要用于搜索移动样品

Tilt轴主要用于同一观察视野,改变观察角度,也常常用于样品同一部位EDS分析时改变探测器信号取出角,

Z轴的使用主要用于改变观察分析工作距离 Working Distance,可改变图像景深,深刻影响电子光学分辨率,获得按不同信号探测器要求的最佳WD值。
由此可见灵活可靠的样品台,对获得良好观察分析质量非常重要。

驰奔电镜使用的优中心样品台,经典大型扫描电镜普遍使用,由于结构相对复杂,造价较高。对观察分析要求较高的样品,尤其突出了这种结构的优越性。调整Tilt轴倾角,WD不变,图像依然保持清晰。有利快速掌握样品表面3D形貌,有利于最佳的微区成分结构分析;X轴沿着倾斜面移动,样品台表面WD不变,改变R轴角度,样品台WD也不变,有利于快速搜索样品。


对于五轴优中心样品台,要实现倾斜样品台视野中心没有水平位移,要求样品表面必须严格处于优中心高度,与之高度误差也会带来相应水平位移,只能通过与倾斜轴垂直的X轴调节,恢复原来图像视野。尽管恢复的图像视野依然保持聚焦状态,但毕竟给操作带来稍许麻烦。

五轴优中心样品台相应的变化有六轴样品台,第六轴主要用于调节优中心高度。尽管这种想法非常好,实际上依然有误差,这增加了操作程序,反而得不偿失,因此六轴样品台并没有广泛使用。

计算机导航样品台的广泛使用,自动补偿了样品优中心高度误差带来的水平位移。

Genesis-500M扫描电镜优中心样品台 - 驰奔 - -扫描电子显微镜视界-
 
Genesis-500M扫描电镜优中心样品台 - 驰奔 - -扫描电子显微镜视界-
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