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扫描电子显微镜

Scanning Electron Microscope

 
 
 
 
 

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驰奔电镜观察:离子溅射膜厚度  

2015-03-24 19:32:15|  分类: 默认分类 |  标签: |举报 |字号 订阅

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编辑:驰奔

连续近一个月测试Genesis-500M高性能小型立式扫描电镜,

导电胶带上溅射的Au, 过去没注意过,今天使用低电压测试样品,发现金膜的在5kv下相对高压(20以上)对比度明显高,就特别关注了一下。
金膜表面有很多未知纳米颗粒,貌似可以看到几个30~50nm的小球团结在一起,这个小电镜低压性能还真凑合。

往下降低放大,露出两只熊猫眼。旁边居然有一条裂缝,难道是金膜裂了?观察了一下裂纹,没看出所以然。但可以判定,金膜开裂,以前自己是没有见过的。搜索周边区域,居然看到有金膜大面积破裂。

好吧,也许喷金时间太长,膜太厚,传说中的TEM观察形貌像的复型技术原来就是这么回事。
测膜层厚度,膜太薄用这个小电镜想到不敢想,既然不薄,就来测一测它到底有多厚?今后降低溅射时间,能省则省...

得找一个垂直的端口,

运气不错,找到一个比较正的,可惜仪器分辨率不给力,要看得清楚,估计得场发射,不过可以蒙一蒙尺寸,足够了用了~~30nm 左右。

10mA 1分钟溅射了个样品,做了试验,发现样品颗粒上有小颗粒,估计是金颗粒,以前没发现过,溅射时间稍短。

对这台配套的溅射仪使用还得稍微研究一下,尽管对着台小电镜来说足够了。

扫描电镜采用低电压观察溅射膜层 - 驰奔 - -扫描电子显微镜视界-扫描电镜采用低电压观察溅射膜层 - 驰奔 - -扫描电子显微镜视界-
扫描电镜采用低电压观察溅射膜层 - 驰奔 - -扫描电子显微镜视界-扫描电镜采用低电压观察溅射膜层 - 驰奔 - -扫描电子显微镜视界- 
扫描电镜采用低电压观察溅射膜层 - 驰奔 - -扫描电子显微镜视界-扫描电镜制样~~镀膜厚度观察 - 驰奔 - -扫描电子显微镜视界-

扫描电镜制样~~镀膜厚度观察 - 驰奔 - -扫描电子显微镜视界-扫描电镜制样~~镀膜厚度观察 - 驰奔 - -扫描电子显微镜视界-扫描电镜制样~~镀膜厚度观察 - 驰奔 - -扫描电子显微镜视界-
  
扫描电镜采用低电压观察溅射膜层 - 驰奔 - -扫描电子显微镜视界-扫描电镜采用低电压观察溅射膜层 - 驰奔 - -扫描电子显微镜视界-
扫描电镜采用低电压观察溅射膜层 - 驰奔 - -扫描电子显微镜视界-扫描电镜采用低电压观察溅射膜层 - 驰奔 - -扫描电子显微镜视界-
扫描电镜采用低电压观察溅射膜层 - 驰奔 - -扫描电子显微镜视界-扫描电镜采用低电压观察溅射膜层 - 驰奔 - -扫描电子显微镜视界-
扫描电镜采用低电压观察溅射膜层 - 驰奔 - -扫描电子显微镜视界-扫描电镜采用低电压观察溅射膜层 - 驰奔 - -扫描电子显微镜视界-扫描电镜采用低电压观察溅射膜层 - 驰奔 - -扫描电子显微镜视界-
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