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DESK-V TSC高真空小型离子溅射仪  

2016-03-22 08:22:45|  分类: 默认分类 |  标签: |举报 |字号 订阅

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        DESK-V TSC高真空小型离子溅射仪,是一款高级磁控溅射镀膜实验或试验装置,广泛用于超高分辨扫描电镜或透射电镜样品制备和高质量科研级镀膜试验。采用专利的阳极保护栅网,实现镀膜过程中样品表面保持常温状态,是没有热损伤的冷溅射平台。该溅射仪具有样品等离子清洗刻蚀功能。可选配蒸碳附件。
    DESK-V TSC高真空小型离子溅射仪 - 驰奔电镜 - -扫描电子显微镜视界-
主要功能:
1、直流磁控溅射精细、超精细镀膜
2、样品等离子刻蚀清洗
3、蒸碳镀膜
主要特点:
1、磁控溅射、溅射速度快。对于扫描电镜或透射电镜制样,抽真空-溅射-泄真空3分钟完成。
2、镀膜质量更高,可获得精细晶粒膜层,膜层结合力强度高。可使用结晶更细小的金属靶材。
3、对样品无热损伤的冷溅射。
4、样品等离子刻蚀功能,一个手动控制挡板降低样片在刻蚀过程中受到的污染。
5、基于PLC的强大控制系统,全部触摸屏操作,可手动、半自动控制、全自动控制。
6、真空高压互锁安全机制
7、标准的操作软件,实时监控各部件状态,方便技术支持,节约用户费用。

性能指标:

标准配置
样品室:        φ150mm X 150mm(H) 不锈钢真空室,带观察窗
靶:               金GOLD或金钯合金GOLD/PALLADIUM(随机)φ50mmX0.1mm
样品台:        φ50mm 旋转样品台
溅射电流:    0-100mA
真空规:        皮拉尼+热电偶
溅射气体:    氩气、氮气
真空泵:        85L/Min 机械泵
                         Pfeiffer 70 lps涡轮分子泵
                        15分钟抽到5E-6Pa 极限真空。(采用超高真空金属密封)
选配
膜厚监控:    石英晶体膜厚监控器
样品台:       φ75mm 旋转样品台
                       φ100mm旋转样品台(选此台,膜厚监控器无法安装)
                       旋转倾斜样品台 (选择此台,无法实现样品刻蚀功能)
蒸碳附件:   碳棒或碳丝绳
产地:美国
产品质量和售后保障
欢迎咨询
北京驰奔仪器有限公司DESK-V TSC高真空小型离子溅射仪 - 驰奔电镜 - -扫描电子显微镜视界-
 
手  机:18513953294
电  话:010-82381373
传  真:010-82389957
邮  箱:market@sem-instrument.com
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