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扫描电子显微镜

Scanning Electron Microscope

 
 
 
 
 

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DESK-V小型离子溅射仪  

2016-03-22 08:14:28|  分类: 默认分类 |  标签: |举报 |字号 订阅

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         DESK-V型小型离子溅射仪,是一款低真空高级直流磁控溅射镀膜实验装置,广泛用于钨灯丝扫描电镜、场发射扫描电镜样品制备或电极镀膜实验。采用专利的阳极保护栅网,实现镀膜过程中样品表面保持常温状态,是没有热损伤的冷溅射平台。该溅射仪具有等离子清洗刻蚀功能。也可选配碳蒸发附件。
DESK-V小型离子溅射仪 - 驰奔电镜 - -扫描电子显微镜视界-
主要功能:
1、磁控离子溅射镀膜
2、样品等离子刻蚀清洗
3、可选蒸碳附件
主要特点:
1、大的溅射样品室,获得更稳定的真空环境,镀膜质量更高。
2、对样品无热损伤的冷溅射。
3、样品等离子刻蚀功能,一个手动控制挡板降低样片在刻蚀过程中受到的污染。
4、基于PLC的强大控制系统,全部触摸屏操作,可手动、半自动控制、全自动控制。
5、具有高压真空互锁安全机制
6、标准的操作软件,实时监控各部件状态,方便技术支持,节约用户费用。

指标:
标准配置
样品室:    φ150mm X 150mm(H) 耐热玻璃真空室
靶:        金GOLD或金钯合金GOLD/PALLADIUM(随机)φ50mmX0.1mm
样品台:    φ50mm 旋转样品台
溅射电流:  0-100mA
真空规:    皮拉尼
溅射气体:  空气或氩气
真空泵:    85L/Min 机械泵
选配
膜厚监控:   石英晶体膜厚监控器
样品台:     φ75mm 旋转样品台
                  φ100mm旋转样品台(选此台,膜厚监控器无法安装)
                  旋转倾斜样品台 (选择此台,无法实现样品刻蚀功能)
蒸碳附件:   碳棒或碳丝绳
产地:美国
产品质量和售后保障
欢迎咨询
DESK-V小型离子溅射仪 - 驰奔电镜 - -扫描电子显微镜视界-
 北京驰奔仪器有限公司
手  机:18513953294
电  话:010-82381373
传  真:010-82389957
邮  箱:market@sem-instrument.com
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