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扫描电子显微镜

Scanning Electron Microscope

 
 
 
 
 

日志

 
 

驰奔-E系列扫描电镜介绍  

2016-07-19 10:52:39|  分类: 默认分类 |  标签: |举报 |字号 订阅

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驰奔-E系列扫描电镜介绍 - 世界级扫描电镜 - 世界级扫描电镜
 

概况驰奔-E系列扫描电镜,热发射扫描电镜,高分辨快速成像,自内而外,由表及里,细致入微。

驰奔-E系列扫描电镜,为用户提供了全面扫描电镜设备方案。

        驰奔-E系列扫描电镜,是十多年来,一直从事扫描电镜研发制造的博士和工程师精心打造。  

        驰奔-E系列扫描电镜,采用国际先进技术,一贯经典设计路线,融入现代,简单简约可靠。包括Cube(小布丁)台式扫描电镜、Genesis(起源)小型立式扫描电镜、Veritas(真相)大型扫描电镜。形成完善的热发射电子枪扫描电镜产品线,可满足各层次用户需求。


发展进程        

  • 2015年推出型号Genesis-500小型立式扫描电镜,分辨率为5.0nm@30K

    SE Image)驰奔-E系列扫描电镜介绍 - 驰奔电镜 - -扫描电子显微镜视界-

  • 2016年 Genesis-500核心技术升级,分辨率提高到4.0nm@30KV(SE Image)

  • 2016年2月推出Cube台式扫描电镜,分辨率4.0nm@30KV(SE Image)驰奔-E系列扫描电镜介绍 - 驰奔电镜 - -扫描电镜视界-

     
  • 2016年5月推出Veritas中型扫描电镜,分辨率4.0nm@30KV(SE Image)驰奔-E系列扫描电镜介绍 - 驰奔电镜 - -扫描电子显微镜视界-

【技术特点】

  • 热发射电子枪 (钨灯丝、六硼化镧、六硼化铈)
  • 三级透镜,四孔径光阑
  • 涡轮分子泵(溅射离子泵)真空系统
  • Se Bse 成像,高低真空成像
  • 五轴优中心样品台
  • 计算机导航,全数字电器控制

驰奔-E系列扫描电镜介绍 - 世界级扫描电镜 - -扫描电镜视界-
 【技术分类评价】

1、扫描电镜纵向分类 按电子枪类型,包括场发射(冷场、热场、肖特基场发射)、热发射(钨丝、六硼化镧、六硼化铈)。

驰奔-E系列 SEM, 标配 简便经济的钨灯丝热发射电子枪,可升级六硼化镧/六硼化铈

     

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2、扫描电镜横向分类      横向按样品仓空间大小和分析拓展能力,大致有高级、中级、低级三个层次分析平台。

电子束样品作用区及信号
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Primary Electrons (入射电子) - 电子光波

Backscattered Electrons(背散射电子)- 平均原子序数反差

Secondary Electrons(二次电子) - 表面形貌反差

Cathodoluminescence (阴极荧光)- 生命或非生命材料中发光成分分布

Auger Electrons(俄歇电子)- 固体表面5nm深度范围的成分分布

Characteristic X-Ray(特征X射线)- 材料中元素分布及定量研究

Absorbed Electrons(吸收电子)- 固体质量厚度反差

Induced Voltage(电子束感生电流/电压)半导体特征研究

Transmitted Electrons(透射电子)材料切片结构研究


  • 低级分析平台满足SE、BSE探测器成像观察,可拓展紧凑型EDS(标准型EDS没有足够空间,勉强安装几何探测效率低)

    Cube台式扫描电镜是性能优越的低级分析平台,是唯一样品台标配五轴优中心结构的台式扫描电镜。

    驰奔-E系列扫描电镜介绍 - 驰奔电镜 - -扫描电子显微镜视界- 专用紧凑型EDS(Oxford仪器专用).驰奔-E系列扫描电镜介绍 - 驰奔电镜 - -扫描电子显微镜视界-
  • 中级分析平台满足SE、BSE、标准EDS、WDS、EBSD,CL等探测器。

    Genesis 小型立式扫描电镜是可拓展较为丰富的中级分析平台
    驰奔-E系列扫描电镜介绍 - 驰奔电镜 - -扫描电子显微镜视界-

  • 高级分析平台可满足所有信号探测器安装配置需要。

    Veritas大型扫描电镜是,为满足大块样品、大批量样品测试及多探测器安装而设计的高级分析平台。
    驰奔-E系列扫描电镜介绍 - 驰奔电镜 - -扫描电子显微镜视界-

     

【优势特色】

  • 预对中钨灯丝,更长寿命,更换简便,成本低廉。

  • 同级别扫描电镜分析平台,更经济,高性价

  • 驰奔-E系列完整的产品线,同级别技术先进,满足各分析层次

  • Cube台式电镜,性能配置更加出众。

  • 全部采用五轴优中心样品台,样品运动更多自由度,便于3D重构

  • 配置丰富,可选购各种探测器,高低真空、高低温台可选,

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