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扫描电子显微镜

Scanning Electron Microscope

 
 
 
 
 

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驰奔‐E 扫描电镜应用‐硅片上的微纳结构观测  

2016-08-27 11:33:57|  分类: 默认分类 |  标签: |举报 |字号 订阅

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驰奔‐E 扫描电镜应用‐硅片上的微纳结构观测 - 驰奔电镜 - -扫描电子显微镜视界-
综述:纳米结构通常是指尺寸在100nm 以下的微小结构。以纳米尺度的物质单元为基础,按一定规律构筑或组装一种新的体系。它包括一维的、二维的、三维的体系,这些物质单元包括纳米微粒、稳定的团簇或人造超原子、纳米管、纳米棒、纳米丝以及纳米尺寸的孔洞。结构表征广泛使用扫描电镜。
仪器介绍:

驰奔-E系列钨丝枪扫描电镜,分辨率4nm@30kv ,根据样品仓大小或拓展分析附件能力,分为Cube(小布丁)桌面扫描电镜、Genesis(起源)小型立式扫描电镜、Veritas(真理)大型扫描电镜。

实验步骤:
硅片半导体导电性良好,将具有纳米结构的硅片用双面导电胶带粘在铝制样品托上,直接放入驰奔‐e 扫描电镜,观察形貌。放大倍数 20000X‐160000X。高信噪比操作,照相速度10s。
驰奔‐E 扫描电镜应用‐硅片上的微纳结构观测 - 驰奔电镜 - -扫描电子显微镜视界-驰奔‐E 扫描电镜应用‐硅片上的微纳结构观测 - 驰奔电镜 - -扫描电子显微镜视界-
 驰奔‐E 扫描电镜应用‐硅片上的微纳结构观测 - 驰奔电镜 - -扫描电子显微镜视界-
 
驰奔‐E 扫描电镜应用‐硅片上的微纳结构观测 - 驰奔电镜 - -扫描电子显微镜视界-
 驰奔‐E 扫描电镜应用‐硅片上的微纳结构观测 - 驰奔电镜 - -扫描电子显微镜视界-
 结果讨论:

          硅片表面存在纳米线状的结构,结构形态清晰,按照某种规律分布均匀,纳米线宽25nm左右。纳米线精细表明结构需要使用场发射扫描电镜进行鉴定,对于宏观分布和大致轮廓形态可使用驰奔-E系列钨丝枪扫描电镜进行快速的检查。

驰奔‐E 扫描电镜应用‐硅片上的微纳结构观测 - 驰奔电镜 - -扫描电子显微镜视界-

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