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扫描电子显微镜

Scanning Electron Microscope

 
 
 
 
 

日志

 
 

扫描电镜观察硅太阳能电池应用  

2016-09-08 18:34:50|  分类: 默认分类 |  标签: |举报 |字号 订阅

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驰奔-E系列扫描电镜观察硅太阳能电池应用 - 驰奔电镜 - -扫描电子显微镜视界-综述:

太阳能电池又称为“太阳能芯片”或“光电池”,是一种利用太阳光直接发电的光电半导体薄片。它只要被满足一定照度条件的光照到,瞬间就可输出电压及在有回路的情况下产生电流。在物理学上称为太阳能光伏。太阳能芯片的表面微观形貌、原料和工艺对电池电性能影响很大,需要扫描电镜进行观测,从而控制电池质量。

仪器介绍:   驰奔-E系列钨丝枪扫描电镜,分辨率4nm @30kv 根据样品仓大小或拓展分析附件能力分为Cube(小布丁)桌面扫描电镜、Genesis(起源)小型立式扫描电镜、Veritas(真理)大型扫描电镜。

试验方法: 

    取不同工艺进程的电池芯片直接放入扫描电镜中观察。快速观察模式,照相时间10s

结论:

驰奔-E系列扫描电镜,可满足硅太阳能电池制造工艺控制检测需要。

采用Cube台式或Genesis小型立式扫描电镜,需要切割芯片。使用Veritas 大样品仓扫描电镜可观察整块芯片,无损检测。

扫描电镜结果如下:

晶圆制绒结构

驰奔-E系列扫描电镜观察硅太阳能电池应用 - 驰奔电镜 - -扫描电子显微镜视界-

 太阳能铝浆电极扫描电镜图像

驰奔-E系列扫描电镜观察硅太阳能电池应用 - 驰奔电镜 - -扫描电子显微镜视界-

 

驰奔-E系列扫描电镜观察硅太阳能电池应用 - 驰奔电镜 - -扫描电子显微镜视界-

 

驰奔-E系列扫描电镜观察硅太阳能电池应用 - 驰奔电镜 - -扫描电子显微镜视界-

 

驰奔-E系列扫描电镜观察硅太阳能电池应用 - 驰奔电镜 - -扫描电子显微镜视界-

 

驰奔-E系列扫描电镜观察硅太阳能电池应用 - 驰奔电镜 - -扫描电子显微镜视界-

 银浆电极扫描电镜图像

驰奔-E系列扫描电镜观察硅太阳能电池应用 - 驰奔电镜 - -扫描电子显微镜视界-

 

驰奔-E系列扫描电镜观察硅太阳能电池应用 - 驰奔电镜 - -扫描电子显微镜视界-

 

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驰奔-E系列扫描电镜观察硅太阳能电池应用 - 驰奔电镜 - -扫描电子显微镜视界-

 Saw damage etching 晶圆表面

驰奔-E系列扫描电镜观察硅太阳能电池应用 - 驰奔电镜 - -扫描电子显微镜视界-

 

驰奔-E系列扫描电镜观察硅太阳能电池应用 - 驰奔电镜 - -扫描电子显微镜视界-

 

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驰奔-E系列扫描电镜观察硅太阳能电池应用 - 驰奔电镜 - -扫描电子显微镜视界-

 驰奔-E系列扫描电镜观察硅太阳能电池应用 - 驰奔电镜 - -扫描电子显微镜视界-


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